氣體結合到固體上去的質量傳遞過程。氣體（吸附質）進入固體（吸附劑）的孔隙中但并未進入其晶格內。吸附過程可能是物理過程，也可能是化學過程。

工作原理：

   當廢氣由風機提供動力，負壓進入吸附箱后進入活性炭附層，由于活性炭吸附劑表面上存在著未平衡和未飽和的分子引力或化學鍵力，因此當活性炭吸附劑的表面與氣體接觸時，就能吸引氣體分子，使其濃聚并保持在活性炭表面，此現象稱為吸附。利用活性炭吸附劑表面的吸附能力，使廢氣與大表面的多孔性活性炭吸附劑相接觸，廢氣中的污染物被吸附活性炭吸附箱是一種干式廢氣處理設備，由箱體和填裝在箱體內的吸附單元組成。

熱分解工藝一般分為蓄熱燃燒(RTO)、催化燃燒（CO）、蓄熱催化燃燒（RCO），只是燃燒方式和換熱方式和兩兩不同組合，主要是用于處理吸附濃縮氣，也可以用于直接處理廢氣濃度>3.5g/m3的中高濃度廢氣。